LEDとは発光ダイオード(Light Emitting Diode)の略称。1993年に青色LEDが開発されたことで、光の3原色が揃った。表示用に加え、一般照明用としても低価格化が進んでいる。LED需要の急拡大とともにLED製造装置への需要も高まっている。